產品比較
廠牌
優點與特點
光馳
GFC-1350DAI
龍翩
LP-1350EBA
快速穩定的真空抽氣系統(擴散泵光馳自製)
快速穩定的真空抽氣系統(擴散泵龍翩自製)
光馳自製高性能OIS-GL離子源
USA ION Source MARK II,Filament, Water Cooled, Dual Gas
穩定可靠的JEOL電子槍
穩定可靠的PLASMATECH EBG電子槍
光馳自製6點晶控機構
INFICON XTC/3S 石英膜厚監測機構
分片、整體以及自動翻轉等形式基板盤可選
分片、整體等形式基板盤可選
均勻性和再現性較好的增透膜工藝
友好的用戶操作介面，操作員/工程師等多模式可選
完善的用戶操作介面
製程時間短，成本低
製程時間短，生產成本低
內嵌成熟穩定的標準成膜工藝(可客製化)
可客製化成膜工藝
完善的售後服務和技術支持
完善的售後服務和技術支援
規格/廠牌
壓縮空氣
0.5~0.7Mpa
≥4Kg/cm2
氣體純度
99.9%
99.99%
電力
28~48KVA
45KW
冷卻水
溫度20~25°C 流量：60L/h
溫度18~25°C 水流量：120L/min
載片量(每罩)
53000(80∮)片/周
70mm∮鏡片(3片式載片量168片/cycle)
重量
3600 KG
5800 KG
尺寸(寬x深x高)
21.35 x 42 x 25.55 m
50 x 4.5 x3.5 m